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　　《真空技能 真空泵功能丈量标准办法 第4部分：涡轮分子泵》国家标准征求意见

　　本标准中规矩了以流量法和小孔法丈量体积流率的过程和设备，最大流量、临界前级压力、压缩比、根底压力、振荡等参数的丈量办法和丈量设备。

　　近来，由北京中科科仪股份有限公司起草，TC18(全国真空技能标准化技能委员会)归口的国家标准计划《真空技能功能丈量标准办法 第4部分：涡轮分子泵》征求意见稿已编制完结，现揭露征求意见。

　　涡轮分子泵是使用十分快速地旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体发生定向活动而抽气的一种真空泵。具有发动快，能抗各种射线的照耀，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能取得清洁的超高真空等长处，大范围的使用在高能加速器、可控热核反应设备、重粒子加速器、真空镀膜、半导体制作、航空航天、医疗设备和光学仪器等需求取得高真空度制作工艺中。

　　本文件依照GB/T 1.12020《标准化作业导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规矩》的规矩起草。

　　原有的真空泵标准系统中，对某些品种真空泵功能参数的丈量提出了各自的要求，丈量设备和功能丈量办法等内容多有重复，且表述不明晰。特定真空泵标准的拟定以整体要求为根底，根据各自的特性来测定功能数据、极限值和特定运转条件。当特定真空泵的丈量办法与整体要求存在必定的差异时，以特定标准为准。GB/T 40344《真空技能 真空泵功能丈量标准办法》旨在从真空泵功能共性和特性的视点提出标准丈量办法，即整体要求和特定真空泵标准，拟由六个部分构成。

　　第 1 部分：整体要求。旨在供给一份用于丈量真空泵功能参数的根底文件，简化了往后对特定真空泵标准的拟定。包含了三种体积流率的丈量办法，以及真空泵根底压力、压缩比和临界前级压力的丈量办法。

　　第 2 部分：容积真空泵。旨在以整体要求为根底，对容积真空泵的功能丈量标准办法加以弥补，包含了容积真空泵的体积流率、根底压力、水蒸气容限、功耗和最低发动温度的丈量办法。

　　第 3 部分：机械增压泵的特定参数。旨在描绘机械增压泵的最大容许压差、有用压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的丈量办法和特殊要求。

　　第 4 部分：涡轮分子泵。旨在描绘了以流量法和小孔法丈量体积流率的丈量办法和丈量设备，以及最大流量、临界前级压力、压缩比、根底压力、振荡等参数的丈量办法和丈量设备。

　　第 5 部分：非蒸散型吸气剂泵。旨在以整体要求为根底，对非蒸散型吸气剂泵的功能丈量标准办法加以弥补。

　　第 6 部分：低温真空泵。旨在以整体要求为根底，对低温真空泵的功能丈量标准办法加以弥补。

　　本文件是GB/T 40344《真空技能 真空泵功能丈量标准办法》的第4部分。

　　本标准是在 GB/T 40344.1 的根底上，规矩了涡轮分子泵的功能丈量办法和丈量设备。标准中规矩了以流量法和小孔法丈量体积流率的过程和设备，最大流量、临界前级压力、压缩比、根底压力、振荡等参数的丈量办法和丈量设备。

　　本标准适用于一切标准和型式的涡轮分子泵。包含：带机械轴承或磁轴承的涡轮分子泵、带或不带附加牵引级的或其它转子抽气级的涡轮分子泵、带一个或多个进气口的涡轮分子泵。

　　本标准的拟定进一步推进真空泵工业系统的优化晋级，推进咱们国家涡轮分子泵先进配备制作技能的快速开展和质量提高。本标准的发布施行不仅能标准涡轮分子泵的功能要求，为规划、制作、检测和使用供给辅导和技能是根据，标准涡轮分子泵工业的有序开展，促进工业系统调整与优化晋级。亦能经过标准涡轮分子泵的功能参数和丈量规矩，完成国内外涡轮分子泵产品以及使用领域的技能比对，为使用者在考虑国内外产品功能时，供给辅导根据。

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