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  近五年来，在国家政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，电镜、电镜功能附件装置与设备、电镜制样等方面不断有新的产业化技术涌现。其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜核心部件的攻克。在中国电镜技术产业化呈现百花齐放、国家对电镜设备产业化问题格外的重视背景下，仪器信息网也别策划电镜技术系列征稿活动，一同探讨中国电镜产业技术、市场的机遇与挑战。相关投稿将整理至对应专题展示，并在仪器信息网相关渠道推广，欢迎各位投稿，电镜技术、市场相关均可

  以下为EDWARDS供稿，EDWARDS是百年专注于真空和尾气处理解决方案的制造及供应厂商，服务于半导体、平板显示、可再生和存储能源、科学分析仪器、制药和冶金等先进行业。 EDWARDS与主流分析仪器制造商多年的合作经验，使其对真空技术在电镜分析中的作用有着深刻理解。以下，EDWARDS分享了对真空技术的看法及相应解决方案。

  电镜的测试腔内（见图表1 电镜的内部基本结构），无论是产生电子的电子枪，还是将产生的电子进行聚焦的电子透镜，抑或是控制和微调光束位置的电磁线圈，再或者是检测信号的检测器，都必须位于一个高真空甚至超高真空的腔室（镜筒）内。如果真空压力达不到要求，产生电子的灯丝会烧断；如果真空压力达不到要求，电子束与大量残留的空气分子发生碰撞而产生散射，最后导致电子束中的电子无法达到样品，得到的图像也失去了意义；如果真空压力达不到，将大幅度的降低检测器接收信号的效率。

  真空系统的洁净程度直接决定了电镜照片的质量，因此，前级泵的选择至关重要。EDWARDS率先推出了具有波纹管密封技术的nXDS涡旋干泵，是业内公认可提供洁净真空的前级泵。nXDS具有维护周期长、运行噪音低、极限真空好等多重优点，已经在国内外多家电镜产品上大范围的应用。除此之外，还可提供多级罗茨nXRi, 隔膜泵等多种选择以实现用户的定制需求。

  在电镜真空系统中，保证高压系统的正常使用的同时，尽可能降低背景噪音的影响，从而获得一个优质的分子流真空环境是所有厂家追求的目标。分子泵作为最常用的高真空获得设备，也同时承担着多种责任，例如：进样腔、样品腔、电子枪等部位真空要求不一致，这就需要真空泵具有分流的设计，能够给大家提供不同的真空度。同时电镜的超高分辨率也决定了分子泵需要有低振动的属性。EDWARDS推出的nEXT系列分子泵可充分满足以上需求，并已大量应用于不一样的电镜中，如nEXT85系列在台式电镜中，nEXT240系列在钨灯丝电镜中的应用。

  在一些高端电镜中，甚至用到了超高真空，此时，离子泵成为了首选。Edwards提供一列不同抽速，不同应用的离子泵，尤其是电镜专用系列，获得了广泛的认可。电镜版离子泵内置了EXIMO屏蔽罩，大大降低放射电流和离子泵磁场对电子枪的污染和影响；此外，离子泵内部增加了额外的放电柱，大幅度的提升了离子泵在超高真空下的启动能力。

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